臭氧催化氧化工藝是目前較為成熟的工藝，多用與廢水，廢氣等污染物進(jìn)行凈化和消毒。因臭氧本身具有很強(qiáng)的氧化性，在自然界中，氧化能力僅次于F，但F危害性較強(qiáng)，所以應(yīng)用限制極大。因此，臭氧催化氧化工藝成為環(huán)境保護(hù)和化工方面應(yīng)用的較佳選擇。 

臭氧催化氧化工藝主要是通過(guò)其他工藝方式對(duì)臭氧進(jìn)行催化，單純的臭氧處理可以用于生活污水消毒及COD不高的水處理，對(duì)于高濃度廢水，則需要將臭氧進(jìn)行催化氧化后，增加水中的羥基自由基濃度，大大提高臭氧氧化的效果。目前高濃度，高COD等化工類(lèi)廢水，屬于水中的“癌癥水”傳統(tǒng)工藝處理方式及其復(fù)雜，且處理效果不好，這一現(xiàn)況在臭氧法誕生后得到了解決。且臭氧裝置本身較其他方式占地面積更小，凈化程度更高，也沒(méi)有二次污染，因?yàn)?，臭氧技術(shù)是未來(lái)的重點(diǎn)發(fā)展技術(shù)。目前我國(guó)大部分城市環(huán)保工程均已采用臭氧法。